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流量規格
0.5SCCM～20SLPM -
準確度
±0.5~1.0%Rd -
工作壓力
5kPaA~2MPaA可選 -
介質溫度
-50℃~110℃可選
產品規格
| 型號 | T100 | T300 | T450 | ||
| 流量規格 |
20SCCM～20SLPM |
0.5SCCM～20SLPM |
2SCCM～20SLPM |
||
| 準確度 |
±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) |
1.0%Rd(20%～100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
0.5%Rd(20%～100%F.S.)
0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
||
| 重復精度 |
±0.2%F.S. |
0.2%Rd(20%～100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
0.1%Rd(20%～100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
||
| 壓力漂移 |
≤±0.1%F.S./100kPa 基準壓力：100kPaA |
≤±0.1%Rd/100kPa 基準壓力：100kPaA | |||
| 溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基準溫度：25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基準溫度：25℃ | |||
| 零點漂移 |
±0.2%F.S. |
±0.1%F.S. |
|||
| 工作范圍 |
2%～100%F.S. |
0.5%～100%F.S. |
|||
| 響應時間 |
≤100ms |
||||
| 啟動預熱時間 |
≤1s |
||||
| 介質溫度范圍 |
0℃～50℃ |
-20℃～60℃ |
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| 環境溫度范圍 |
0℃～50℃ |
-20℃～50℃ |
|||
|
滿量程壓損 |
10kPa（≤5SLPM）；6kPa（10SLPM）；8kPa（20SLPM） | ||||
| 耐壓 |
1.5 MPaA |
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|
最大工作壓力 |
900kPaA |
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| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24V±20% | ||||
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質 | 橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
應用場景
分析儀器
半導體設備
生物處理系統
燃料電池組泄漏測試
反應濺射
下載手冊
其他定制產品可咨詢易度
售前售后工程師：400-881-5356
